近日从合肥新站高新区获悉，7月15日上午，由至纯科技投资10亿元建设的晶圆再生基地（一期）项目在合肥新站高新区正式量产。该项目是国内首个立项又最先量产的12英寸晶圆再生工厂，项目量产填补了产业链又一个空白。
图为新站高新区党工委书记、管委会主任王连贵
据悉，该项目投资约10亿元，包括晶圆再生和半导体部件再生。其中，晶圆再生项目是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线，不仅填补了产业链的空白，也为合肥打造“中国IC之都”提供了强劲支撑。
据介绍，合肥至微半导体有限公司是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体，为集成电路企业十二英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。同时，合肥至微建设的先进制程湿法工艺技术验证平台，能帮助用户、装备厂商、材料厂商，针对湿法工艺的开发和验证提供平台，将对我国半导体晶圆等相关产业技术进步和发展具有积极的推动作用。
图为晶合的晶圆产品。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司成立于2000年，致力于半导体设备、半导体工艺系统以及相关专业服务，2017年初在上交所上市。合肥至微半导体有限公司，是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体，为集成电路企业12英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。
晶圆再生指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。项目全面达产后，可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力，满产后年产值至少可超过6亿元。
图为合肥至微半导体鸟瞰。
据介绍，项目的成功量产，来之不易。从2020年3月开工起，一直在努力克服新冠疫情的干扰。对此，至纯集团董事长蒋渊也深有感触。“当初我们被合肥的产业布局格局吸引，被新站的务实作风打动，决定将至纯科技的晶圆再生业务落地在此。经历新冠疫情的影响，我们克服了很多困难，在年内就完成了大部分设备的搬入，今年的3月，工厂开始试生产。到这个月，随着ISO认证的顺利通过，已经有了正式订单开始量产。”她表示，企业将重研发，抓质量，立志成为国内领先的半导体工艺装备材料提供商，代表本土品牌参与国际竞争。
新站高新区党工委书记、管委会主任王连贵在致辞中表示，将继续主动为企业提供精准服务，支持企业发展，促进项目量产后尽早达产满产，推动合肥集成电路产业更加高质量发展。
近年来，合肥已成为国内集成电路产业发展最快、成效最显著的城市之一，而新站高新区则是合肥市“芯屏”产业的“主阵地”，已成为全国规模最大、技术方向最齐全的新型显示产业基地。
新站高新区以升促建，大力优化营商环境，相继引来晶合、新汇成、奕斯伟、上海新阳等一批龙头企业相继投产，设计、制造、材料、封测全产业链条不断壮大，使该区也成为全国重要的集成电路产业板块，是很多半导体企业眼中主体集聚、配套齐全，环境优越的投资热土。随着合肥至微项目1期的量产，新站成为满足“晶圆再生”需求的重要基地，也为合肥市集成电路产业高质量发展注入了新的动力，让合肥集成电路产业更加“芯光灿烂”。
合肥市政府副市长路军，新站高新区党工委书记、管委会主任王连贵，区党工委副书记、管委会副主任蓝天，上海至纯集团董事长蒋渊，合肥至微半导体有限公司董事长廖世保等出席量产仪式，相关行业协会以及上下游合作企业代表参加。
（图片来源：合肥新站高新区）
(责任编辑：王丹萍)
